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中国准分子激光DUV光刻光源测试原始记录关于国产DUV光刻光源的考证原文：解读中国28nm光刻机（一）:深紫外DUV光刻机光源的曙光结语在上述关于光刻机代差分析里，我们剥离出未来十年的2代代差和过去十年的3代代差，而这正对应于我国的光刻机研发工作的针对目标：1，在过去十年的既有技术上的突破，显而易见，自2019年开始国际形势突变之后，我们不再具有轻易获得西方的成熟技术、并依托其上进行迭代式发展的模式

编者按：公众比较熟悉的光刻机代差是基于193纳米光刻光源的干式DUV和浸液式DUV

京东物流非常快！给力！光驱装上电脑一切正常，很静音！赞！读盘速度：非常快，大品牌，用起来很放心，质量非常好，赶上活动购买非常的划算。

读盘速度：读盘速度是非常的快，光盘放进去之后，机器反应非常灵敏。? 读盘声音：读盘的声音比较小，而且声音很稳定。? 稳定性能：性能很稳定，读盘的时候声音很稳定。 轻薄程度：这不是轻薄的光驱，这种光驱现在很难买了。幸好先锋还在生产。这一种平置式要比那种超薄的效果要好。? 外形外观：做工非常好，一看就是大厂的东西。? 产品包装：包装非常好，一看就是大厂的东西。让人放心。

读盘速度：很快 读盘声音：还好 稳定性能：不错 轻薄程度：够短 外形外观：憨厚 产品包装：很好

先锋光驱，很多年的老品牌，用过一个先锋外置光驱，这次装机还是在京东选购一台内置先锋DVD刻录机，已装上，读盘很好，刻录功能还末试。

买了三个光驱，反馈都很不错，声音小，噪声小，刻盘的速度很快，跟之前的光驱比的确不是一个档次，之前光驱识别光盘都很困难，这个很快就能识别出来，真的是大赞。京东速度还是一如既往地快，让人赞不绝口，以后还是继续支持京东?

应急买来用，很棒，安装方便，没有什么难度，用起来很好，下次还会购买，东西很好，推荐给大家，算是一个很好的配角，声音小，性能稳定

编者按：2021年12月30日，长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队，在深圳国资委资助下，合作成立了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

长春光机所研发团队持股20%，而第二大自然人股东--王丽萍教授，便是今天故事的主角

做工很好，十年前买的先锋刻录机有点光头老化，再买一个用，完美，非常满意！京东物流就不用说了，快！光驱手感好，整体轻薄，使用时声音小，速度快，非常好用的一款！

2022-2032年的极紫外EUV光刻机代差在2022年6月底披露的资料中，IMEC公布了更新的未来十年的半导体工艺节点的规划，其中明确了两代EUV光刻技术代差：1，2023-2026年，将以NA0.33 EUV光刻机的多重曝光方式量产2纳米和A14（14Å）节点；2，2026-2032年，将以高NA0.55的EUV光刻机量产A10、A7、A5节点

更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目：六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是，与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的，还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

光驱很漂亮，启动的声音很小，弹出非常平稳。希望能够用的时间久一些。读盘速度：很快读盘声音：声音小，几乎听不到产品包装：精美

物美价廉，性价比高，下次还买了，读盘速度：非常块读盘声音：非常小稳定性能：稳定性能：非常 稳定

非常好，但刻录只有18速？，而且噪音很大，不过其他很好。不错的用来刻录CD机用的。很安静。没有噪音。稳定可靠。

公司一直在用这个产品，经久耐用，一直在用，非常好用，也可以购买我们公司的产品。

因此，在大约十年时间里，长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力，使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发

很显然，这两次迭代，将使得摩尔定律被延长至2032年

在中文舆论里，前者便是铺天盖地的所谓“28nm”光刻机；后者便是所谓“7nm”光刻机

半导体产业40年的发展路径经严格考证的国产光刻机光源进度而在我2021年10月份的考证里，国产DUV光源的测试计划是248nm的KrF DUV激光器，因此实际上这一款激光器并没有进入批量生产的阶段

中国准分子激光DUV光刻光源测试原始记录关于国产DUV光刻光源的考证原文：解读中国28nm光刻机（一）:深紫外DUV光刻机光源的曙光结语在上述关于光刻机代差分析里，我们剥离出未来十年的2代代差和过去十年的3代代差，而这正对应于我国的光刻机研发工作的针对目标：1，在过去十年的既有技术上的突破，显而易见，自2019年开始国际形势突变之后，我们不再具有轻易获得西方的成熟技术、并依托其上进行迭代式发展的模式

非常好，便宜实惠，安装方便，不用任何驱动，内置光驱比外置的寿命长，就是携带不方便，是sata接口的，没有数据线，物流速度非常快！

读写速度快，很好用，读写速度快，质量好，价格实惠，物流快，非常满意的一次购物。

两镜头光学到六镜头光学系统的差距如前文所述，德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后，3年内推出了六镜头的ADT验证机

所以，蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限，而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上，几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中国为什么不自己研发光刻机