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编者按：2021年12月30日，长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队，在深圳国资委资助下，合作成立了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

长春光机所研发团队持股20%，而第二大自然人股东--王丽萍教授，便是今天故事的主角

先锋的刻录机用过两台了，第一款是DVD刻录机用了好多年，后来升级成蓝光刻录机已经用了6年，刻录了快1000张蓝光盘还是很稳定，现在再买一台备用。非常可靠耐用的品牌。

一个 6 英寸的 EUV 光掩模结语20年前，ASML的一台ADT工具，便坐落在纽约州立大学理工学院，也就是帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当时工作的单位

质量非常好！做工精良！很有分量！比笔记本光驱强很多！第一次买光驱就买了先锋的！刚攒好的台式机配的，组装台式机，没有光驱总感觉缺少点什么。虽然现在光盘不流行了，还有好多说明书是光盘形式的，另外还有cd音乐盘也需要光驱来读，小孩子的教科书配的cd也需要，所以不能缺少光驱，感觉能用好久！

因为实践表示，3次曝光会导致良率大幅度下降，4、5次良率可能会低到没法想象，晶圆厂们的成本高到没法承受，不如买一台更高级光刻机，成本还低一些

所以，目前国内在努力的研发28nm的光刻机，这样经过两次曝光后，可以搞定14nm，至于7nm工艺，那最好还是期待EUV光刻机，用28nm的来曝光三次，良率没法看

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是，2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当年是纽约州立大学的副教授，他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管，CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前，有必要回顾EUV光刻机发展历史，简而言之，在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里，有4个里程碑的阶段，包括：1，2003年之前的两镜头曝光装置（MET）；2，2006年的六镜头EUV演示工具（ADT）；3，2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机；4，明年即将推出的第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机

相信品牌！机子看起来很简约，耐看，用起来也非常好用！店家快递很快，包装也很好，光驱还没用呢，看着无划痕，新品应该是！等用上再看看

产品包装：包装妥当，严实 稳定性能：稳定 读盘声音：较小 外形外观：小巧 轻薄程度：轻薄 读盘速度：很快 先锋不愧是光驱第一品牌，以前用过先锋的CD刻录机，从没有废盘，刻录质量杠杠的！

ASML“摊牌”了

近日，光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源在中国内地销售的产品，涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权

阿斯麦公司表示，他们将密切关注中企的动态，如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权，将对其提起诉讼

资料显示，成立于2014年的东方晶源，主营业务为集成电路良品率管理，旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等

目前全球芯片代工巨头如韩国的三星以及中国台湾地区的台积电，均使用阿斯麦公司提供的高端光刻机，中国大陆的芯片代工企业也不例外

商品经济实惠，质量很好?，什么光盘都能读写，物流速度快，太给力了。收到了，开了用过了，很棒速度很快

大品牌的外置光驱，一直都用这个牌子。从前的内置光驱也是一样。主要是性能稳定，耐用。刻录光盘很少报废，速度很快。现在新电脑都很少配置光驱，买他就很方便。

第三次在自营店里头买这款刻录机了，非常好用，第一台17年买的到现在还在使用哦，真是耐用啊，虽然只能刻CD了，这台买着备用，自营的质量就是放心，比**的货强多了！

很好，已经第二次购买，能写入dvd-ram，数据安全有保障。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 值得信赖 好评五星

用起来银好，读碟能力超级强大，价值也很实惠，值得购买的一款光。读盘速度：快读盘声音：小稳定性能：好产品包装：包装严实非常不错

有网友表示，在财政困难的情况下，竟然拿出如此一笔巨款开发光刻机，相信俄罗斯是认真的，一旦研发成功或将也惠及中国半导体市场

毕竟俄罗斯苦美久已，不会遵守美国对中国的无理制裁要求

沉寂已久，重出江湖得益于雄厚的工业实力，日本在光刻机领域有着全球最多的专利，其中仅最尖端的EUV光刻机就占据了45.5%，但由于技术路线选择错误导致逐渐没落，但瘦死的骆驼比马大

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源步进光刻机鉴定机构

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是，2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当年是纽约州立大学的副教授，他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管，CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

质量非常好，与描述的完全一致，非常满意，很喜欢，完全超出期望值，发货速度非常快，包装非常仔细、严实，送货师傅服务态度很好，送货速度很快，很满意！

光刻机镜头原理

组了一台生产力，工作需要的原因，搞了一个光驱装上。读取速度刻录速度都不错，sata接口也很方便，京东的物流快到不行，前一天晚上下单，第二天上午就拿到手了！好评好评～现在有需要光驱的应该很少了，感觉不错

并且Zyvex还接受电子束光刻机订单，称只需要6个月就可以交货，很明显，这种技术也能够替代EUV光刻机，唯一的用这种方式，速度非常慢，但后期还有改进空间

非常小巧的产品，出乎意料特别的轻，有一种不能置信的感觉。具体速度还是可以的，质量自然刚刚的，过去一直使用这个品牌，今次也不例外。声音很安静，基本没有振动，当然我有适合的防震设备。很适合外带的小家伙，移动方便。

稳定性能：不错 读盘速度：很快 外形外观：还好 轻薄程度：适中 产品包装：精美 读盘声音：很轻

两镜头光学到六镜头光学系统的差距如前文所述，德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后，3年内推出了六镜头的ADT验证机

所以，蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限，而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上，几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限