近日，光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源在中国内地销售的产品，涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示，他们将密切关注中企的动态，如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权，将对其提起诉讼
资料显示，成立于2014年的东方晶源，主营业务为集成电路良品率管理，旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
目前全球芯片代工巨头如韩国的三星以及中国台湾地区的台积电，均使用阿斯麦公司提供的高端光刻机，中国大陆的芯片代工企业也不例外
然而在中美关系恶化之后，美国为了限制中国半导体产业发展，勒令阿斯麦公司禁止向中国企业出口光刻机
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东方晶源一位负责人向媒体表示，公司所有的产品和技术均是自主研发，水平处于国内领先地位
其中研发出来的计算光刻产品，在半导体的生产过程中有着极为广泛的运用
业内一位人士向媒体表示，计算光刻技术可以显著提升芯片的良品率和质量
光刻机镜头是怎么造的
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2014年，两人从阿斯麦美国子公司Brion辞职后创立XTAL，专注于计算光刻技术的发展
据悉，Brion公司是光刻计算概念的提出者，后来被阿斯麦全资收购
随后几年时间里，XTAL公司的计算光刻业务发展迅速，市场占有率不断提升，阿斯麦公司因此失去了许多重量级的客户
被其污蔑侵权
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得不到国外的先进光刻机，就只能自力更生，争取制造出国产光刻机
据悉，经过国内科技工作者以及相关企业的努力，中国在光刻机以及周边相关的卡脖子技术领域取得了一系列突破