送货特快!下单后15小时收到货,包装完好,有防震包装,货品与图片介绍完全一致。播放图像清晰,流畅,色彩无失真。刻录效果待使用后再追加。
2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰
而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案
因此,在大约十年时间里,长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力,使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发