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2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰
而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案
因此,在大约十年时间里,长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力,使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发
而这也是篇首我们看到的王丽萍教授参与的六镜头投影系统设计和验证工作的基本背景
使用方便,安装简单,调配容易,效果不错,非常好用,商品很好很不错,性价比很高,物美价廉,非常好的一次购物体验
更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目:六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是,与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的,还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”
而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点,我们有条件在3年内完成ADT验证机吗?回答这个问题,我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异:2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能,是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作;而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队
当然,作为实验性工具,MET也是在不断发展的,第一代MET工具NA0.3的数值孔径,对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机;第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径,对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机
好久不用光驱了,特殊用途还是有必要的。而且这个性价比比较高 产品包装:这个包装很大气啊,盒子也很大,里面是再生原料减震,看着不错。 外形外观:外观简洁大方,成熟稳重 轻薄程度:正常尺寸的三围 读盘速度:速度平稳,读盘不错 读盘声音:声音还好 稳定性能:目前稳定
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光驱外观好看,包装店家很用心,上机试了一下,读取光碟内容很快,播放没有卡顿,特意用了几天才来评价,希望对大家有所帮助 读盘速度:快 读盘声音:没有声音 稳定性能:非常稳定 轻薄程度:非常薄 外形外观:漂亮,高档大气上档次 产品包装:完美
给别人组装新机安装的刻录机,这次买配件全是在京东六一八做活动时买的价格很实惠。当然先锋刻录机的质量也是杠杠的,使用效果让人很满意,它是我给别人组装新机的不二之选。
很好很满意,读碟流畅,之前买的华硕挺挑碟的,正版碟都读不出,这款棒棒的,刻录倒不常用,用移动硬盘多,暂时没有测试