以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述
光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知,上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一,我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作
这些专利也在我的前文中做过详细介绍,这里就不赘述了
《光刻技术》刊登的极紫外光源综述论文这篇论文也介绍了长春光机所的最新EUV反射镜及镀膜相关工作,最新的工作包括2020年的两篇论文
我此前介绍过长春光机所进口的德国EUV反射镜镀膜机,也是来自这一系列工作