滨州经济技术开发区慧泽电脑服务中心-困局第32页

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估nikon光刻机i42023-06-25 02:04:31

《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外（EUV）光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授，分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

包装妥妥的。安装后马上试机，效果非常不错!老牌子不愧为老牌子，抵赞!光驱收到上机试了很稳定，以前一直用先锋DⅤD刻录光驱质量很好。

例如，撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士

《光刻技术》专刊目录在这些论文中，不仅详细介绍了国外光刻技术的发展历史，还详细包含了中国过去二十年的几乎所有重要的进展，我将以极紫外光源和极紫外光刻机的研究进展稍作诠释

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源继asml光刻机之后2023-06-23 08:08:23

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里，王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢？在面对西方技术封锁下，我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗？下次见！两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿：https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿：http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文：https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页：https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源光刻机创业公司2023-06-22 23:04:53

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2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中芯国际光刻机烧毁2023-06-12 11:28:43

读盘速度：读盘速度很快，加持USB3.0。读盘声音：运行比较安静，比其他声音小点。光盘质量也有影响。稳定性能：稳定性强，底部防滑。轻薄程度：轻薄小巧。能放电脑包。强制开机按钮很惊艳，强制开盖也不用到处找针了。手轻轻一拨就开了，方便极了。

先锋外置刻录机很快到货，还没试用。以前买过好几台先锋光驱和刻录机，挺好用。不是第一次买了，这个品牌真是刻录机中的第一品牌，上一个用了5年，终于到年头可以换了，好用的很！好评！

挺好用的，多了一根电源线，对功率小的笔记本很有好处，刻录速度不错，不易刻录失败。好用。白色颜值很高

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中国短板光刻机2023-06-11 13:56:31

相信品牌！机子看起来很简约，耐看，用起来也非常好用！店家快递很快，包装也很好，光驱还没用呢，看着无划痕，新品应该是！等用上再看看

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾，王丽萍写道：“根据我国现阶段的技术基础和研究目标，两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同，它不具有生产能力

ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机，具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学曝光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学的博士生导师，在她的主页上，我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中国拥有三台光刻机的公司2023-06-11 07:08:51

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化，因此，我们从蔡司的产品迭代来看，我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的

因此，在大约十年时间里，长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力，使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发

中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象二手直写式光刻机2023-06-08 23:36:12

用了多年先锋刻录机，相信它的质量，到手发现很小巧玲珑，方便携带，试刻了一张，很好，和win7兼容的很好，自动安装了驱动，系统直接就可以刻录，做工也不错！

先锋内置DⅤD刻录光驱读盘很稳定，声音还好，使用方便。可以播放4k电影，可以刻录4k电影，功能强大，强烈推荐大家购买。

长春光机所的产业群长春光机所是国内较为活跃的高科技企业孵化单位，其下属的长光产业共有核心企业70余家，其中上市公司1家，行业涵盖核心元器件、新材料与应用、高端装备制造、超高清成像与显示、激光技术与应用、生命与健康和航空航天等多个领域

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源荷兰光刻机duv2023-06-08 13:24:37

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾，王丽萍写道：“根据我国现阶段的技术基础和研究目标，两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同，它不具有生产能力

读盘速度：很快读盘声音：很轻稳定性能：很好轻薄程度：超薄的外形外观：大气产品包装：严谨

前几天卖了2部先锋刻录机很好用，刻录光盘快，很好。先锋大牌声音很轻，感觉稳稳的，现在很少有上翻盖的光驱了，不错

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源国内拥有3台光刻机的公司2023-06-08 13:24:29

第一次自己组装电脑，选择这个骇客神条真的是百分百满意，快递包装很好，防震到位，显卡沉甸甸分量很足，做工很精良，装好一次点亮，logo.灯简约大方，体质非常不错

到货拿回家就马上装上了，已经第二次买先锋牌的光驱，质量还是很好，很实用，京东快递小哥很有礼貌，服务很周到。

因此，从工业化角度而言，我国开发EUV，即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节，六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节

王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道：2004年毕业于长春理工大学后，于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士

解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估光刻机技术现状与趋势2023-06-07 04:33:02

终于拥有自己的刻录光驱了，比我上一个只能读取的上了一个台阶，很满意！现在很多机箱都没有光驱位了，为了方便起见，配了先锋DVD刻录机，质量很好。