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编者按：2021年年中，我粗浅的梳理了中国EUV光刻机的研发情况

这一年国际形势巨变，而西方对中国的光刻机制裁依然没有解除的迹象，而这一年中国的光刻机研发又出现了什么新的景象呢？长春光机所，是最被国人瞩目的光刻机研发单位

很久没有用过光驱了，现在小孩的学习资料很多是光盘，所以买一个用用，老牌光驱品牌，不错，很好用，如果能配套方便使用的刻录软件就更好了

今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中，公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司，它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

公司一直在用这个产品，经久耐用，一直在用，非常好用，也可以购买我们公司的产品。

所以长光集智光学是一家国有控股企业

长光集智光学的股东隶属关系图长光集智光学科技有限公司：ZETOP打开这家新创办半年的企业官网，其主要信息还没有更新，唯一有参考价值的信息是招聘信息

长光集智光学主页从长光集智光学的招聘信息可以看到，其招聘岗位包括光学设计、光学元件检测、光学系统、系统检测&集成、光学加工、光学薄膜、光机结构、仿真分析、软件开发、机电控制等10个方向

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

　　金春水说：“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台，圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标，实现EUV 光学成像技术跨越，显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平

流畅速度快，全新，非常实用，京东物流就是快 先锋刻录光驱多次买了 好用 性价比超高 good

所以长光集智光学是一家国有控股企业

长光集智光学的股东隶属关系图长光集智光学科技有限公司：ZETOP打开这家新创办半年的企业官网，其主要信息还没有更新，唯一有参考价值的信息是招聘信息

长光集智光学主页从长光集智光学的招聘信息可以看到，其招聘岗位包括光学设计、光学元件检测、光学系统、系统检测&集成、光学加工、光学薄膜、光机结构、仿真分析、软件开发、机电控制等10个方向

中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象我们国家有光刻机吗

长光集智光学注册资本30亿元人民币，其大股东为深圳市新凯来技术有限公司，持股60%；第二大股东便是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，持股20%；第三大股东是金春水，持股7%

经过核查，深圳市新凯来技术有限公司为深圳市深芯恒科技投资有限公司100%持股企业；而后者又是隶属于深圳国资委的深圳市重大产业投资集团有限公司100%持股的企业

京东快递就是快，昨天晚上下单，第二天上午就到货了，已经安好了，试了一下非常满意。读盘很安静，几乎没有噪音。附送的软件很实用

2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

因此，在大约十年时间里，长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力，使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾，王丽萍写道：“根据我国现阶段的技术基础和研究目标，两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同，它不具有生产能力

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

一个 6 英寸的 EUV 光掩模结语20年前，ASML的一台ADT工具，便坐落在纽约州立大学理工学院，也就是帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当时工作的单位

这套价值6500万美元的设备信息，至今仍然挂在纽约州立大学理工学院（SUNY POLY）的主页，这里曾经是世界EUV光刻技术的研发先驱

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源荷兰的光刻机为什么这么牛

2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

光驱很漂亮，启动的声音很小，弹出非常平稳。希望能够用的时间久一些。读盘速度：很快读盘声音：声音小，几乎听不到产品包装：精美

光驱，哈哈已经是牙齿掉光的产品了，估计再过几年就消失了，小朋友学校里面有光盘，直接买了一个，装上，方便使用，以前还记得是很高大上的额东西，现在都已经快被淘汰的，感叹啊，先锋这个牌子估计以后也会慢慢的越来越少看得到！好评！

做工很好，十年前买的先锋刻录机有点光头老化，再买一个用，完美，非常满意！京东物流就不用说了，快！光驱手感好，整体轻薄，使用时声音小，速度快，非常好用的一款！

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

　　金春水说：“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台，圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标，实现EUV 光学成像技术跨越，显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平