王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国现阶段的技术基础和研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”
两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力
曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源干涉仪 光刻机
外观非常轻薄小巧,颜色是经典的磨砂黑色,手感观感都还不错。产品外包装中规中矩,上开式的打开方式很特别,还有很人性化的防锁死按钮,整体设计很到位。读盘声音安静,读写速度目前还没有特别感觉,使用后再来追评。
非常好用的一款刻录机,读碟快,而且静音。马达声音很柔和,没有激烈的读盘声音。刻盘稳定。质量不错
读碟挑剔,咨询客服,无回复。拿到手沉甸甸的,包装很好,装机试了一下,读盘很快,稳定,希望用的久一些
2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰
而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案
发货快!!到货快!包装完好 很满意!以后继续买!不错,先锋用了三台了,质量很满意,下一台还是先锋。
读盘速度:很快 读盘声音:很小,几乎听不到声音 稳定性能:性能稳定 轻薄程度:与台式机配套合适 外形外观:精緻 产品包装:严实无破损。
美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是,2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当年是纽约州立大学的副教授,他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管,CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料
使用了几次,才来评价,全五星全五分好评!质量不错,读盘速度挺快,同时购买了一款外置的,这个还没有用过过。相信先锋品牌的质量,相信京东自营货物品质。
包装妥妥的。安装后马上试机,效果非常不错!老牌子不愧为老牌子,抵赞!光驱收到上机试了很稳定,以前一直用先锋DⅤD刻录光驱质量很好。
因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业于长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士
先锋的刻录机是老牌子,到了之后用了一下,非常好。顺便吐槽一下,现在的笔记本好多都不带光驱了,配一个外置光驱很有必要。