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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源中国短板光刻机

相信品牌!机子看起来很简约,耐看,用起来也非常好用!店家快递很快,包装也很好,光驱还没用呢,看着无划痕,新品应该是!等用上再看看

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国阶段的技术基础研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力

ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机,具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学博士生导师,在她的主页上,我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

两镜头光学到六镜头光学系统的差距如前文所述,德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后,3年内推出了六镜头的ADT验证机

所以,蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限,而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上,几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限

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在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里,王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢?在面对西方技术封锁下,我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗?下次见!两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文:https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页:https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

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2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收,获得32纳米线宽曝光图形年后,2017年02专项验收时,我们可以看到,其验收的两镜头MET曝光工具,获得32纳米线宽曝光图形,与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的

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