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而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队

当然，作为实验性工具，MET也是在不断发展的，第一代MET工具NA0.3的数值孔径，对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机；第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径，对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

　　金春水说：“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台，圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标，实现EUV 光学成像技术跨越，显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平

今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中，公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司，它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化，因此，我们从蔡司的产品迭代来看，我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的

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在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里，王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢？在面对西方技术封锁下，我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗？下次见！两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿：https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿：http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文：https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页：https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

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所以长光集智光学是一家国有控股企业

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长光集智光学主页从长光集智光学的招聘信息可以看到，其招聘岗位包括光学设计、光学元件检测、光学系统、系统检测&集成、光学加工、光学薄膜、光机结构、仿真分析、软件开发、机电控制等10个方向

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关于金春水教授和他的EUV研发情况，请参考前文：解读国产光刻机困局（四）：长春光机所的EUV光刻机？长光集智光学科技有限公司：团队在长光集智光学科技有限公司股东名单里，我们看到一共有18位自然人股东，共持股20%

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长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

长春光机所的产业群长春光机所是国内较为活跃的高科技企业孵化单位，其下属的长光产业共有核心企业70余家，其中上市公司1家，行业涵盖核心元器件、新材料与应用、高端装备制造、超高清成像与显示、激光技术与应用、生命与健康和航空航天等多个领域

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光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图：光刻工艺的演变因此，我整理了大量各种变量的时间演变曲线，并且标注其中的关键节点，对于重要的关键节点，做详细的人、物、力的调查，并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断