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这些专利也在我的前文中做过详细介绍，这里就不赘述了

《光刻技术》刊登的极紫外光源综述论文这篇论文也介绍了长春光机所的最新EUV反射镜及镀膜相关工作，最新的工作包括2020年的两篇论文

我此前介绍过长春光机所进口的德国EUV反射镜镀膜机，也是来自这一系列工作

5nm光刻机画图有多少

我们注意到几篇光刻胶专利都是2021年刚刚发表的

因此，很显然，这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展，以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析，是充分的、也是有时效性的

第三次在自营店里头买这款刻录机了，非常好用，第一台17年买的到现在还在使用哦，真是耐用啊，虽然只能刻CD了，这台买着备用，自营的质量就是放心，比**的货强多了！

以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述

光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知，上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一，我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作

很好，正常使用中，这个品牌的技术过硬，用着放心，推荐大家购买。一直信赖先锋这个牌子，但现在的刻录机比以前的噪音要大，而且数据线也没有...

很棒的机器，收到后就连刻四张CD，全部成功，播放音质震撼，和原版没有区别。上午到货，自营的商品物流就是快。放了一张盘，声音很小，很安静，手里没有空白盘，未尝试刻录功能。

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

2005年论文：美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里，我们可以清晰的看到MET工具CAD模型，它主要包括两个部分：1，从上部的同步辐射光源系统（From synchorotron）经过一个扫描单元传递至曝光装置；它相当于EUV光刻机的EUV光源系统；2，MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分：光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

先锋品牌、质量保证、一直都在用。第一个用了三年，现在是第二个，给力好评五星?！很好的购买平台，质量不错，特别是有品牌的，值得信赖

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长光集智光学注册资本30亿元人民币，其大股东为深圳市新凯来技术有限公司，持股60%；第二大股东便是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，持股20%；第三大股东是金春水，持股7%

先锋刻录机的质量非常好，2004年我家组装的台式机选择的就是先锋台式机刻录光驱，现在还可以正常使用呢。这次主要是给笔记本配置的外置DVD刻录光驱，我再次选择了先锋。这款光驱性能很好，刻录时噪音很小，运行平稳，我非常满意！

读盘速度：很快，比以前家里的快多了。 读盘声音：声音小，也很正常。听到一直在读盘的声音感觉心里很踏实。先锋真的好牌子。 稳定性能：稳定好用，没有出现过问题。 轻薄程度：轻薄好拿。快递给我的时候掉到地上了，也没有摔坏。还很正常的用。 外形外观：外观好看。真的不错

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一个 6 英寸的 EUV 光掩模结语20年前，ASML的一台ADT工具，便坐落在纽约州立大学理工学院，也就是帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当时工作的单位

这套价值6500万美元的设备信息，至今仍然挂在纽约州立大学理工学院（SUNY POLY）的主页，这里曾经是世界EUV光刻技术的研发先驱

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾，王丽萍写道：“根据我国现阶段的技术基础和研究目标，两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

国产光刻机 厂商

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化，因此，我们从蔡司的产品迭代来看，我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾，王丽萍写道：“根据我国现阶段的技术基础和研究目标，两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

首先感谢京东这个平台，购物体验极致，物流配送服务完美，京东购买配件放心，之前的一直用的很好，没出现过问题，这是给公司组配办公电脑n台了，这次依旧选择京东，一次点亮，效率高，不卡机，直接公司转款，开具增值税发票，完美。

光刻机的上游

更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目：六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是，与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的，还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”

今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中，公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司，它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

长光集团下属企业长光集智光学科技有限公司：国有控股2021年12月30日，长光集团迎来了一家新企业：长光集智光学科技有限公司

长光集智光学注册资本30亿元人民币，其大股东为深圳市新凯来技术有限公司，持股60%；第二大股东便是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，持股20%；第三大股东是金春水，持股7%