滨州经济技术开发区慧泽电脑服务中心

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

刻碟速度很快，CD碟5分钟内刻完，大品牌，质量有保障，物美价廉，值得信赖。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 长期使用中 值得信赖 好评五星

京东快递就是快，昨天晚上下单，第二天上午就到货了，已经安好了，试了一下非常满意。读盘很安静，几乎没有噪音。附送的软件很实用

先锋老牌子，读碟稳定，写碟快，噪音也很低，满意满意。很好用，噪音小，速度快，送货很快，最重要的是便宜。

因此，关于极紫外光刻机光源部分的国内研究，基本上已经覆盖在我去年撰写的《中国光刻机困局》系列之中

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是，2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛（Patrick Naulleau）当年是纽约州立大学的副教授，他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管，CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

很好很满意，读碟流畅，之前买的华硕挺挑碟的，正版碟都读不出，这款棒棒的，刻录倒不常用，用移动硬盘多，暂时没有测试

发货很快，配送师傅态度很好，先打了电话，还专门送上楼了呢，和黑色的一起买的，感觉先锋的刻录机很好用

光驱收到了，非常好用，连续刻录了10张都成功了，先锋这个牌子还是值得信赖的。整体来说还是很不错的，店家服务态度很好，而且质量也很好，比前的华硕好用太多，开心

《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外（EUV）光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授，分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

自己几分钟换好了，刻了几个文件试试，很快，也没什么噪音，很不错，但愿能多用一阵子，先好评

王丽萍研究生在读时，于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文，涉及两镜头微缩投影系统：《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》

王丽萍2007年发表论文在这篇论文中，给出了一套MET工具的光学设计图，其数值孔径NA0.3，分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm

一直选择在京东购物，特别是京东自营店，质量有保证，享受下单后，很短时间内就能体验上产品的感觉，快递小哥服务很好，非常感谢。包装盒看舒服。心理作用还是买个光驱，可能就用一两次，活动价99，便宜。小白装电脑，自我感觉良好，还在选配件，攒机中。担心配件攒齐后出问题过售后期了，就麻烦了。但为了省钱，没办法

因此，关于极紫外光刻机光源部分的国内研究，基本上已经覆盖在我去年撰写的《中国光刻机困局》系列之中

而我近期的撰文又补充了近一年的新的进展

我认为我的分析基本可以反映了目前国内研究的整体状况

因此这篇论文不仅涵盖了光刻胶开发历史，而且介绍了两位教授团队的最新成果和专利

挺好的，价格公道，先锋刻录机应该是刻录机里面最好的品牌了，很早之前用过一个115ch，用到老化，也只是刻录速度变慢，从来没刻飞过，后来买了别的品牌的，简直是噩梦。京东不错，不怕买到翻新货，价格还公道，不用去电脑城挨宰和被以次充好了。

2022年5月《光刻技术》专刊封面《光刻技术》专刊这期专刊一共发表30篇特邀综述文章，涵盖了包括EUV光源、计算光刻、照明系统、投影物镜检测、光刻胶、浸液系统、准分子激光、光刻机运动控制台等光刻机研究的方方面面

在东京买原装正品未拆封，好东西非常方便就开始使用了，外观也漂亮，轻薄设计、金属外壳黑色烤漆，看着就喜欢。 读盘速度：正常 读盘声音：轻 稳定性能：刚刚才用，感觉蛮稳定的 轻薄程度：轻薄设计，感觉舒服 外形外观：有金属感，漂亮 产品包装：完整、原装正品未拆封

外包装很精美，比联想db75好多了。先前用db75太久了，光头有点灰尘，抓出来的音频有问题，换了之后就好多了。目前没问题，各方面都很好。eac上可以直接查到偏移值，好用！

点单位光盘。以前就用的先锋的。品质非常好，用了好多年了，所以这厮继续购买。商品应该不错。待会儿去试用，用好了再来评价。希望这个产品也好，哪，有一些优惠活动。这样。可以在购买很多。另外价格教师再降点就好。

长光集智光学的招聘信息（部分）长光集智光学科技有限公司：金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东，金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

安装使用、领导很喜欢、手感、拿着也不错。外置光驱还不错，包装完好，外观漂亮，使用很方便，读碟效果还不错。

本来准备装电脑上的，结果发现机箱没有光驱位，索性加一个光驱盒，拿来当外置光驱，没想到速度还挺快的，声音很小，比较安静

光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图：光刻工艺的演变因此，我整理了大量各种变量的时间演变曲线，并且标注其中的关键节点，对于重要的关键节点，做详细的人、物、力的调查，并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断

当然，我们在中国的光刻机困局的讨论仅限于核心部件

而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队

谁说芯片要光刻机小说

因此，在大约十年时间里，长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力，使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发