2,除了类似的综述论文所需资料外,会包含研究人员和研究团队的分析,研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性,以及他们的技术能力,是分析、预测项目推进的重要组成信息;介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3,在研究人的因素之上,进行详细的工业基础、技术背景调查,以此了解每一项组件所依赖的外部条件,如软硬件、材料、资源、资金等,以此判断实现每一个环节大概所需要的时间,并整体综合判断项目进度
光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图:光刻工艺的演变因此,我整理了大量各种变量的时间演变曲线,并且标注其中的关键节点,对于重要的关键节点,做详细的人、物、力的调查,并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断
当然,我们在中国的光刻机困局的讨论仅限于核心部件
在这个环节,我将尝试在EUV镜头制造、光学系统制造、光源制造等环节挖掘其瓶颈部分
只有涉及到根本层面时,我们才了解真正打破垄断所需要的软硬件条件,以及限制我国开发光刻机的关键环节
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解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估成都光电所 光刻机
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因此,很显然,这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展,以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析,是充分的、也是有时效性的
中国光刻机困局研究三要素中国光刻机困局的分析,基于以下三个要素:1,首先整理技术发展的真实资料,它包括中外论文、会议、报告、专利、新闻资讯等
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以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述
光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知,上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一,我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作
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