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国产前道光刻机,解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估

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比如我在2021年7月前后撰写多篇短文介绍这套进口德国的极紫外反射镜镀膜机

技术发展曲线的讨论分为创新行为和复制行为,正如我前文所述,它们依赖于完全不同的人才、软硬件条件、资源等

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以便更多的读者可以从更系统、更全面的角度去了解我在这个系列撰文里所提出的观点及论述

光刻机运动台控制上海光机所的《激光与光电子学进展》众所周知,上海光机所是我国先进激光技术的顶尖研究单位之一,我曾经在前文详细介绍过上海光机所的极紫外光刻光源相关研究工作

《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外(EUV)光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授,分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

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这些专利也在我的前文中做过详细介绍,这里就不赘述了

《光刻技术》刊登的极紫外光源综述论文这篇论文也介绍了长春光机所的最新EUV反射镜及镀膜相关工作,最新的工作包括2020年的两篇论文

我此前介绍过长春光机所进口的德国EUV反射镜镀膜机,也是来自这一系列工作

《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外(EUV)光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授,分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

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2,除了类似的综述论文所需资料外,会包含研究人员和研究团队的分析,研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性,以及他们的技术能力,是分析、预测项目推进的重要组成信息;介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3,在研究人的因素之上,进行详细的工业基础、技术背景调查,以此了解每一项组件所依赖的外部条件,如软硬件、材料、资源、资金等,以此判断实现每一个环节大概所需要的时间,并整体综合判断项目进度

光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图:光刻工艺的演变因此,我整理了大量各种变量的时间演变曲线,并且标注其中的关键节点,对于重要的关键节点,做详细的人、物、力的调查,并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断

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《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外(EUV)光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授,分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发

简单翻阅这些2022年5月最新的中文资料,也可以验证前文论述中所涉及到的资料范围的准确性、及时性、全面性

例如,我在此前多次介绍美国极紫外光学制造商Zygo的技术背景

美国极紫外光学制造商Zygo介绍通常这些三要素的分析,是分散在我不同的帖子里

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我们注意到几篇光刻胶专利都是2021年刚刚发表的

因此,很显然,这些资料已经充分地披露了最新的光刻机研究项目的进展,以这些资料作为背景做中国的光刻机困局的分析,是充分的、也是有时效性的

中国光刻机困局研究三要素中国光刻机困局的分析,基于以下三个要素:1,首先整理技术发展的真实资料,它包括中外论文、会议、报告、专利、新闻资讯等

2,除了类似的综述论文所需资料外,会包含研究人员和研究团队的分析,研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性,以及他们的技术能力,是分析、预测项目推进的重要组成信息;介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3,在研究人的因素之上,进行详细的工业基础、技术背景调查,以此了解每一项组件所依赖的外部条件,如软硬件、材料、资源、资金等,以此判断实现每一个环节大概所需要的时间,并整体综合判断项目进度

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比如我在2021年7月前后撰写多篇短文介绍这套进口德国的极紫外反射镜镀膜机

技术发展曲线的讨论分为创新行为和复制行为,正如我前文所述,它们依赖于完全不同的人才、软硬件条件、资源等

光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图:系统复杂度的演变结语我们之前讨论过ASML的几百家核心供应商

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例如,撰写准分子激光文章的便是北京科益虹源的总经理江锐博士

《光刻技术》专刊目录在这些论文中,不仅详细介绍了国外光刻技术的发展历史,还详细包含了中国过去二十年的几乎所有重要的进展,我将以极紫外光源和极紫外光刻机的研究进展稍作诠释

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