得不到国外的先进光刻机,就只能自力更生,争取制造出国产光刻机
据悉,经过国内科技工作者以及相关企业的努力,中国在光刻机以及周边相关的卡脖子技术领域取得了一系列突破
面对中国取得的成就,西方国家和企业不是理性地看待,而是又打起了打压的念头
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中国22纳米光刻机突破
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被其污蔑侵权
众所周知,制造半导体离不开光刻机,而光刻机是人类文明智慧的结晶,有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称,上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉,光刻机的制造涉及精密光学,超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术
此前中国芯片制造企业中芯国际向阿斯麦公司订购了一台EUV极紫光刻机,金额高达一亿多美元,不过就在即将交付的节骨眼上,美国倒插一脚,导致中芯国际到现在也没有收到货
半导体产业是一国工业支柱性产业,不能因为光刻机供应受限,就放弃半导体产业的发展
2019年,阿斯麦公司向美国提交诉讼,指控两名从Brion公司离职的员工带走了大量的技术,为XTAL公司的创立提供了基础
至于XTAL公司是如何与中国的东方晶源公司联系在一起的,阿斯麦公司在财报中并没有披露细节
也就是说,阿斯麦公司并没有充分的证据证明XTAL公司与东方晶源公司存在业务往来或者技术交换,所谓的东方晶源涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权,只是阿斯麦公司的猜测
近日,光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企的动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼
资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务为集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
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