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而台积电2021年拥有EUV光刻机近80台,这80台EUV光刻机直接用电8亿度,再加上间接用量(散热等设备),仅光刻机相关用量就超过10亿度,占到这191.9亿度电的5%+
考虑到台积电还在不断的推进5nm、3nm,需要更多的EUV光刻机,未来这个耗电量还会增加
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更重要的是,EUV光源能量转换率为0.02%,另外的99.98%电能会变成热量散发出去,又需要大量的设备来降温散热,这又要耗电
台积电的数据显示,2021年能源消耗量为191.9亿度,约占台湾的7.2%
而深圳有1800万深住人口,2021年居民用电量也仅为165.5亿度左右,这就是说台积电的耗电量,可以让深圳的居民用一年
在绝大多数人的认知中,决定芯片工艺的,是EUV光刻机,是技术,毕竟7nm及以下工艺,必须要用EUV光刻机,如果ASML不卖给你,就“巧妇难为无米之炊”
但大家有没有想过,电力其实也是半导体竞争的重要一环?如果供电跟不上,空有EUV光刻机,空有技术,也没戏
为此,台积电也在努力想办法,比如自己去买电厂,解决供电问题,还直接与一些电站签订采购合同,确保电力供应,甚至还不得不将产能转移至美国等地,缓解供电危机,但一年190多亿度电,需要100多亿元的电费,让台积电也是很头痛
台积电也要心痛电费
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EUV有多耗电?由于EUV光源的能源转换效率只有 0.02% 左右,所以输出功率只有250W的EUV光刻机,实际需要0.125万千瓦的电力,耗电量是DUV光刻机的10倍以上
这样下来,一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时