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光刻机_雕刻机_曝光系统

关于光刻机双光束超分辨光刻机

光刻机作用光刻机是用来制造芯片

光刻机又被称为掩膜对准曝光机,在芯片生产中用来光刻工艺,而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步,所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备

光刻机决定了芯片的精密尺寸设计师设计好芯片线路,再通过光刻机将线路刻在芯片上,其尺度通常在微米级以上

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分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式

光刻的分辨率受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统光刻胶和工艺等各方面的限制

对准精度是在多层曝光时间层间图案的定位精度

曝光方式分为接触接近式、投影式和直写

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光线折射技术就是光刻机的核心技术之一,从90nm工艺以来,DUV光刻机所采用的光源都是193nm的光源,而EUV光源则是13.5nm,通过在水等介质的多次折射得到相应波长的光线,从而实现了以193nm光源生产65nm至7nm工艺、13.5nm光线实现7nm至2nm的工艺,而这家企业公布的光线折射技术恰恰解决了光刻机的关键技术

这就是光刻的作用,类似照相机照相

照相机拍摄的照片是印在纸片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件

光刻机就是将光罩上的设计好集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上,形成图形

光刻机性能指标光刻机主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率

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