在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里,王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢?在面对西方技术封锁下,我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗?下次见!两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文:https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页:https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html
噪音不大,刻录速度也很快,做工很精细,非常好,买一个放在手边刻盘很方便,美中不足没有赠送保护包,携带有些不方便。
极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前,有必要回顾EUV光刻机发展历史,简而言之,在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里,有4个里程碑的阶段,包括:1,2003年之前的两镜头曝光装置(MET);2,2006年的六镜头EUV演示工具(ADT);3,2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机;4,明年即将推出的第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机
而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点,我们有条件在3年内完成ADT验证机吗?回答这个问题,我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异:2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能,是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作;而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源国产光刻机的局限
东西已经收到!手感不错!用料扎实!质量很好!平常用基本没有问题!先锋刻录机质量一直很稳定,买来试用刻录了几张光盘,没什么问题。
因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业于长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士
一直用的这个品牌的,质量非常好,还没上手用新买的,希望能够好用,一次买了两个,办公方便。
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王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及两镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》
王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm
老牌子,收到货后就装机了,和主机很匹配,办公用方便,主要用于看资料和刻资料盘。 然后试用了一下,运行速度快,安静。 先锋刻录机真的很不错,价格也实惠。 产品包装的很好,比较满意,有需要的值得购买!尤其办公使用,很好。
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刚收到货,装上后刻了一张,很好。原以为先锋DVD内置刻录机停产了。现在看来是谣传,从机子上看是今年5月出厂的。