近日，光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称，中国企业东方晶源在中国内地销售的产品，涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示，他们将密切关注中企的动态，如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权，将对其提起诉讼
资料显示，成立于2014年的东方晶源，主营业务为集成电路良品率管理，旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
像阿斯麦公司的光刻机，一般附带有计算光刻设备，但是如果芯片代工巨头不满意，也可以选择第三方企业提供的计算光刻设备
而阿斯麦公司在财报中提及的与东方晶源存在关联的美国公司XTAL，是由两名有着阿斯麦公司背景的技术人员创建
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中企攻克卡脖子技术后
目前全球芯片代工巨头如韩国的三星以及中国台湾地区的台积电，均使用阿斯麦公司提供的高端光刻机，中国大陆的芯片代工企业也不例外
然而在中美关系恶化之后，美国为了限制中国半导体产业发展，勒令阿斯麦公司禁止向中国企业出口光刻机
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众所周知，制造半导体离不开光刻机，而光刻机是人类文明智慧的结晶，有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称，上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉，光刻机的制造涉及精密光学，超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术
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此前中国芯片制造企业中芯国际向阿斯麦公司订购了一台EUV极紫光刻机，金额高达一亿多美元，不过就在即将交付的节骨眼上，美国倒插一脚，导致中芯国际到现在也没有收到货
半导体产业是一国工业支柱性产业，不能因为光刻机供应受限，就放弃半导体产业的发展
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