这玩意有多复杂?一台EUV光刻机重达180吨,零部件高达10万多个,超过2公里以上的软管,需要40个集装箱来运输,仅安装调试就需要一年左右
比如它里面就用到了德国的蔡司镜头,日本的特殊复合材料,瑞典的精密机床,美国的先进控制软件、光源等,都是业内顶尖的技术水平
事实上,EUV的激光系统就有大约45万个零件,重约17吨,线缆长度超过 7000 米
其中高达20kW的二氧化碳激光器,所需电源功率达到了200kW,但即使这样,它的最终效率也才只有5.5%
读盘速度:速度很快,先锋还是很不错的 读盘声音:声音很轻柔 稳定性能:刚上机,目前来说还是很稳定的,不出意外应该会很稳定的 轻薄程度:很简洁,做工挺不错的 外形外观:京东的物流向来是很给力,外观很板正,毕竟是大品牌,还是不错的 产品包装:没有任何磕磕碰碰,盒子包装都没有划痕,很给力不错
先锋光驱,很多年的老品牌,用过一个先锋外置光驱,这次装机还是在京东选购一台内置先锋DVD刻录机,已装上,读盘很好,刻录功能还末试。
上午下单下午送到神速啊,质量很不错,手感好,非常非常轻便,包装结实完好无损,使用方便速度我是外行觉得挺快的,只用来读碟,其他功能都不会用,满意
读盘速度:没有具体的数据,反正挺快的。 读盘声音:很安静,试刻录了一个音乐CD盘,写入很快,放到音响上,播放没有问题。 稳定性能:用了很多个先锋了,质量信得过。旧的因为接口不同,所以买了个新的。
有了镜头,当然还需要光源,光刻机里的光源技术是来自美国Cymer公司
想要产生波长为13.5nm的极紫外光,其实是一个比较复杂的过程
简单来说,就是用20kw的激光,不断轰击从空中滴落的液态锡珠
这些液滴的直径非常小,只有20微米,大概相当于头发丝直径的1/3,并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态
荷兰光刻机给中国最新情况
10万零部件
原来一直用的三星刻录机,用了几年了,不行了,刻不出来了。换了这个,之前发现有不少差评,有些犹豫。换了以后,发现速度快,声音很小,性价比超高。值得购买。
物流很快,上午下单下午就到了。东西很轻,主要用来读DVD和CD,目前没有什么问题,声音不大,刻录没用过。基本满足需求。
到货后马上拆机更换,读取速度也很快,刻录效果以后再试,一直用这个牌子,效果不错,东西还是不错,好用,就是包装盒是脏的,不舒服
是不是看起来,阿斯麦公司更像一个系统集成商?但是,如果想要组装一台光刻机,也不是随便哪个厂商就能做到的
比如光刻机里的镜头,在组装过程中,为了达到仪器能够检测、分辨的最小值
需要将多达数十个光学镜面按照设计要求严格排列,每一个透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求
而且同一个液滴需要在极端时间内被连续轰击两次,第一次冲击是将它压平,第二次冲击是将它汽化,使之成为发光的等离子体,这样才能产生足够强度的极紫外光
更重要的是,轰击所产生的光转瞬即逝,因此需要每秒钟轰击约五万次,才能保证光的持续性