德国的蔡司半导体提供整体的方案,还提供后续所有镜头,而ASML与蔡司在这一块也是独家合作,蔡司不向另外的企业提供这项技术,而目前没有任何其它厂商能够达到蔡司的这个水平
第三部分才是光刻等技术的整合
可见在关键领域ASML通过技术壁垒构建了产业护城河,也的确成功阻挡了其它企业复制出EUV光刻机
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