但做光刻机的企业或许不止上海微电子一家,国产DUV光刻机进展还处于保密阶段,包括此前国内某大厂的光刻机专利曝光,其中涉及到一些保密的敏感内容,目前暂时并未对外界高调宣传,但是国产光刻机很多关键的部分都已经取得了技术突破这是没有疑问的
荷兰ASML的苦日子要来了事实上,早在今年11月,光刻机巨头ASML宣布扩产EUV与DUV乃至于下世代EUV设备计划,根据ASML的计划,其年产能提高到90台EUV和600台DUV光刻机,并表示基于不同的市场情景,ASML预计2025年其年收入在约300亿欧元至400亿欧元之间,这种扩产计划其实ASML在DUV不断供中国市场的预估前提之下的