国产芯片国产光刻机开始突破作为芯片制造产业中最重要的一环,光刻机的作用自然非常重要
伴随着芯片产业链上的其他设备如蚀刻机等已经突破至5nm,国产芯片产业也愈发完善,而光刻机也成为最后一个需要攻克的技术难关
光刻机技术取得突破其实国内对于光刻机同样十分重视,早在2006年就开始实施《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目,其中光刻机在16个重大专项任务中排名第二,因此也被称为“02专项”
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