这些消息都无不让ASML如鲠在喉,所以美国方面一再施加压力,但是ASML却一直都认为限制DUV光刻机没有多大意义,DUV光刻机已是多年前就已成熟的技术,中国在DUV光刻机方面的进展将会更快,如今中国在EUV光刻机技术上的进展如此迅速,显示出中国不仅在DUV光刻机技术方面进展迅速,在更先进的EUV光刻机技术方面同样很快
近日国内光刻机产业链的企业之一,传芯半导体公开宣布已经20余项EUV光刻机技术专利,加上此前在激光光源、工作台、镜头等方面所取得的成果,国产EUV光刻机已取得了重大进展,或许数年后国产EUV光刻机就将量产,这正让ASML后悔莫及