日前媒体报道指国产先进光刻机的产业链正逐渐完善,纯国产光刻机即将出现,难怪ASML之前加紧向中国出售光刻机了,它非常担忧中国光刻机将成为它的强劲对手
正是由于国产产业链在光刻机方面的进展,让中国正成为全球最具潜力的光刻机生产国,这方面是ASML所在的荷兰和尼康所在的日本都无法达到的,产业链已成为中国光刻机的核心竞争优势
好在这一切,如今都逐渐得到改变,经过数年的发展,国产光刻机产业链如今已逐渐成型,双工作台有华卓精科,激光光源系统有科益虹源、虹科光电等,浸润系统则有启尔机电等,还有镜头系统、曝光光学系统等都有国产厂商在做,并且这些产业链企业都位居全球前三,甚至居于全球第二