目前全球芯片代工巨头如韩国的三星以及中国台湾地区的台积电,均使用阿斯麦公司提供的高端光刻机,中国大陆的芯片代工企业也不例外
然而在中美关系恶化之后,美国为了限制中国半导体产业发展,勒令阿斯麦公司禁止向中国企业出口光刻机
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能够生产光刻机的国家
近日,光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企的动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼
资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务为集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
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另外,光刻机的制造对生产环境要求相当高
正是因为如此,目前没有一个国家可以独立完成光刻机的制造
以光刻机巨头荷兰阿斯麦公司制造的EUV极紫光刻机为例,其就继承了美国、日本和德国等多个国家的技术
目前光刻机几乎被阿斯麦公司一家垄断,高端光刻机领域,阿斯麦公司的市场占有率超过90%
2019年,阿斯麦公司向美国提交诉讼,指控两名从Brion公司离职的员工带走了大量的技术,为XTAL公司的创立提供了基础
至于XTAL公司是如何与中国的东方晶源公司联系在一起的,阿斯麦公司在财报中并没有披露细节
也就是说,阿斯麦公司并没有充分的证据证明XTAL公司与东方晶源公司存在业务往来或者技术交换,所谓的东方晶源涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权,只是阿斯麦公司的猜测
中企攻克卡脖子技术后
得不到国外的先进光刻机,就只能自力更生,争取制造出国产光刻机
据悉,经过国内科技工作者以及相关企业的努力,中国在光刻机以及周边相关的卡脖子技术领域取得了一系列突破
面对中国取得的成就,西方国家和企业不是理性地看待,而是又打起了打压的念头
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