俄、日纷纷加紧研制新一代光刻机
另辟蹊径,一心超越EUV近日有消息称俄罗斯正在开发一款全球领先的光刻机,甚至比ASML最先进的EUV光刻机还先进,俄罗斯莫斯科电子技术学院承接了贸工部开发制造芯片的光刻机项目,该项目由俄罗斯政府首期投资6.7亿卢布资金(约合5100万元人民币)
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