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光刻机_雕刻机_曝光系统

已经实际应用,中国有进口光刻机吗

中国有进口光刻机吗

而超分辨率光刻机在原理上突破分辨力衍射的极限,与ASML的技术路线完全不同,不依赖光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局

当然,研制出这款超分辨率光刻机,并不意味着我们已经实现了弯道超车,否则也不至于出现华为无法获得高端芯片的情况

具体是将入射光照射在透镜表面的小探针上,然后探针表面的电子就会有序的震荡,从而激发产生波长非常短的等离子体,然后在光刻胶上刻出非常小的图形

而ASML的光刻机,是将激光束经过一些列反射整形后,过滤掉衍射,然后投射经过光刻模板,再投射到硅片上

中国用口罩跟荷兰换光刻机,3种替代方案

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这对于一般的晶圆企业而言,是不可承受的成本,所以一直以来,业界都探讨EUV光刻机的替代方案

目前已经被确定的替代EUV光刻机的方案已经有三种,分别是1、纳米压印光刻(NIL);2、直接自组装(DSA)光刻;3、电子束光刻(EBL)

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光刻机的技术难度,供应商遍布全球

然后又要按照光刻机的不同系统进行分类组装,比如光学系统、测量系统、传输系统之类的

除了以上两个关键之处,还有配套设施和后市场之类的,它们的存在让光刻机产业链非常的复杂,从而也使人们难以做到,制造出一个所有零件都自己生产的光刻机

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那么,到底什么是光刻机呢?为什么有人说中国想自己造高端光刻机不现实呢?光刻机到底是什么?在“江湖”上,总有光刻机的传说,比如说假如你发明出了光刻机,将会受到怎样优待的“臆想”

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