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国产光刻机技术有了新进展了!老狐最近得知,华为公布了自研光刻机的部分技术专利
根据专利显示,华为申请的这项专利并不是制造 EUV 光刻机的专利,而是 EUV 光刻机其中一部分的专利
该专利主要解决光刻机中的“匀光问题”,匀光问题”是在匀光系统上所出现的问题