其实日本的光刻机企业也有深厚的技术积累,在2005年之前,日本的佳能、尼康占有光刻机市场八成的市场份额,不过当时它们力推的是干式光刻机技术,干式光刻机技术逐渐达到瓶颈,台积电恰在那时候研发出了浸润式光刻机技术,而日本企业不愿失去已有的利益,将机会让给了ASML
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早前尼康就曾公开表示将光刻机的产能增加一倍,目标是希望从中国市场获得更多订单,随后中国方面也给予了回应,早前中国招标了28台光刻机,其中7台光刻机订单由国内企业获得,另外21台光刻机订单都给了日本企业,ASML一台订单都没有,这无疑鼓舞了日本的光刻机企业