HDL实现了比传统EBL更高的分辨率和精度
数据显示,光刻胶中的沉积能量不会下降到光束中心的10%,直到径向距离约为4nm
使用HDL,实验团队能够暴露比EBL的10%阈值半径小>10倍的单个原子
这个小得多的曝光区域令人惊讶,因为HDL不使用光学器件,只是将钨金属尖端放置在H钝化硅样品上方约1nm处
△距氢(H)钝化硅表面约1nm的W扫描隧穿显微镜(STM)尖端电子似乎不太可能只遵循暴露单个氢原子所需的实心箭头路径
为了解决这个谜团,必须了解电子实际上不是从尖端发射(在成像和原子精密光刻模式下),而是从样品到尖端(在成像模式下)或从尖端到样品(在光刻模式下)模式