数据显示,全球一共售出478台前道光刻机,被ASML、尼康、佳能瓜分了
其中ASML拿下了其中的309台,占比为65%,接近三分之二的市场
而尼康为6%,佳能为29%
但是在高端EUV光刻机领域,ASML占据了100%的市场,而在次高端的在ArFi和ArF光刻机领域,也分别占据96%和88%的市场
当然,目前全球也在研发其它技术的光刻机,比如多电子束直写光刻机(MEB)、定向自组装技术(DSA)、nm压印技术(NIL)等不同新技术也,希望这些技术有所突破,那么我们就不必依赖ASML了,否则真的太难超越它了