近期光刻机巨头ASML频频向中国芯片释放善意,与此前的态度截然不同,让人摸不着头脑,直到近期它的高管发言或许能解释这一原因,中国市场已成为它最后的蛋糕了,能卖一台赚一台
一方面是光刻机的技术逐渐达到极限,继续升级已不太可能;另一方面是设备自身成本以及生产成本的激增,这就导致ASML自己都担忧这些先进光刻机未来还有多大需求,而快速发展的中国市场则可望成为台积电最后的希望
当前的EUV光刻机技术是通过将镜头放在液体里,通过液体和镜头等的多重折射最终打印出更小的结构,从而制造更先进的工艺,然而这种方式随着向更先进的工艺推进,这种方式导致光刻机日益笨重,光刻机自身的成本也因此激增,第一代EUV光刻机的价格达到1.2亿美元,预计High-NA EUV光刻机售价将达到4亿美元