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光刻机_雕刻机_曝光系统

光刻机事业已到尽头,重庆奥特斯光刻机

随着光刻机变得更加负责,光刻机的耗电量也在激增,业界人士指出High-NA EUV光刻机的总功耗将达到200万瓦的水平,每天耗电量将达到4.8万度电;如今台积电仅是推进至5nm工艺,它消耗的电力已占中国台湾省的8%,业界预期推进至3nm之后它消耗的电力将占中国台湾的12%

近期光刻机巨头ASML频频向中国芯片释放善意,与此前的态度截然不同,让人摸不着头脑,直到近期它的高管发言或许能解释这一原因,中国市场已成为它最后的蛋糕了,能卖一台赚一台

一方面是光刻机的技术逐渐达到极限,继续升级已不太可能;另一方面是设备自身成本以及生产成本的激增,这就导致ASML自己都担忧这些先进光刻机未来还有多大需求,而快速发展的中国市场则可望成为台积电最后的希望

重庆奥特斯光刻机,为何态度大转变?

挺好的,价格公道,先锋刻录机应该是刻录机里面最好的品牌了,很早之前用过一个115ch,用到老化,也只是刻录速度变慢,从来没刻飞过,后来买了别的品牌的,简直是噩梦。京东不错,不怕买到翻新货,价格还公道,不用去电脑城挨宰和被以次充好了。

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重庆奥特斯光刻机,为何态度大转变?

重庆奥特斯光刻机,可实现22纳米工艺制程

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重庆奥特斯光刻机,可实现22纳米工艺制程

而超分辨率光刻机在原理上突破分辨力衍射的极限,与ASML的技术路线完全不同,不依赖光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局

当然,研制出这款超分辨率光刻机,并不意味着我们已经实现了弯道超车,否则也不至于出现华为无法获得高端芯片的情况

3种替代方案,重庆奥特斯光刻机

EBL电子束光刻机,大家可能熟悉了,前段时间美国公司Zyvex,就搞出了一台电子束光刻机(EBL),并制造了768皮米(0.768nm),不过这种光刻方式速度慢,不可能用于在规模芯片制造

而纳米压印光刻技术,目前被佳能押注,目前佳能已经能够提供NIL光刻机,比如东芝,就一直想用NIL光刻机来生产NAND闪存,同时在NIL光刻专利中,佳能遥遥领先

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中国都表现不突出,重庆奥特斯光刻机

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这种方式比传统光刻分辨率更高,加工速度也不受影响,但它对材料控制的要求特别高,目前还没有成熟的解决方案,还处在实验室阶段

而对这一技术研究较深的是比利时微电子中心、麻省理工学院,他们都建立了自组装产线,进行相关研究,三星在DSA上申请的专利最多,也非常重视这一 技术

中国都表现不突出,重庆奥特斯光刻机

重庆奥特斯光刻机,计划大举向中国出售光刻机以求生存

重庆奥特斯光刻机,计划大举向中国出售光刻机以求生存

ASML此前愿意遵从美国的要求,就在于受美国影响的三星、Intel和台积电还能持续为它提供丰厚的收入,然而这些芯片企业如今都在收缩,台积电更计划明年的资本开支减少资本开支80亿美元,这些企业无法为ASML提供更多收入了,ASML为了生存就只能自己找市场,如此它反水也就在情理之中

计划大举向中国出售光刻机以求生存

原来一直用的三星刻录机,用了几年了,不行了,刻不出来了。换了这个,之前发现有不少差评,有些犹豫。换了以后,发现速度快,声音很小,性价比超高。值得购买。

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