中国有自主产权的光刻机
而从工艺技术和制造成本综合因素考量,EUV 光刻机(极紫外光刻)被普遍认为是 7nm 及以下工艺节点的最佳选择
目前,在全球范围内仅有荷兰的 ASML 公司能供应 EUV 光刻机
据介绍,ASML 的 EUV 光刻技术使用 13.5 nm 的波长(几乎是 X 射线范围),在微芯片上形成精细的线条
ASML 首席执行官 Peter Wennink 在对 2022 年业绩做展望时表示,由于全球电子行业的发展,半导体市场将继续迎来发展,在 2022 年全年,ASML 的营收预计将增长 20%,其中 EUV 光刻机预期将出货 55 台,收入 78 亿欧元(约合 553 亿人民币)