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中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化，因此，我们从蔡司的产品迭代来看，我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的

ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机，具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学曝光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学的博士生导师，在她的主页上，我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

很好用，而且用了一段时间了还没坏，我们经常用，也经常会用坏，所以买这个很划算 稳定性能：好

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前，美国开展了为期3年的工程验证机（ETS）研究，其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说，过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

“02专项”出窍，看国内现状中国目前技术最为先进的光刻机是上海微电子公司生产的90nm光刻机，其实对于光刻机的发展，中国一直在不断尝试，早在06年就成立了02专项，经过十几年的发展，在光刻机各方面已经有了长足的进步

光刻机镜头原理

可能看到了苹果M1 Ultra处理器在芯片堆叠技术的大获成功，以及最近非常火热的小芯片技术，感觉3D技术会很香，让日本厂商看到了在此翻身的希望

写在最后，光刻机市场一时间风起云涌，相信这一定让ASML非常担心，担心自己的垄断地位不保，前几天ASML一哥还放软话，“不是我们不愿意卖，而是受政府限制

很好用，而且用了一段时间了还没坏，我们经常用，也经常会用坏，所以买这个很划算 稳定性能：好

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

刻碟速度很快，CD碟5分钟内刻完，大品牌，质量有保障，物美价廉，值得信赖。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 长期使用中 值得信赖 好评五星

那么，除了ASML这个大公司，我们还有其他的选择吗？其实，最近我们就有了新的选择

据悉，最近日本企业“佳能公司”正在筹备建设新工厂，并且根据放出的消息称：佳能公司旨在以更低的成本制造出更先进的下一代光刻机

很多专家预测，佳能公司的新光刻机可能是2021纳米压印光科技的升级版，能够实现14nm芯片的量产

以前台式机用的就是这个品牌的光驱，老品牌值得信赖。读写速度还不错，比较薄，也不占地方，刻录的功能还没试，应该不会差到哪里去。很满意。

EUV光刻机突破出货限制

这一切欧盟各国都看在眼内，眼见这美国企业持续从中国市场获得丰厚收入，欧盟各国明白自己被摆了一道，这就是荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔发声的缘由，荷兰高官发声维护的无疑就是它的ASML，ASML已是荷兰不多的高科技企业了

一直在京东购买东西，这次也是一样，买了一个这个产品，质量感觉也不错，加上现在又有活动，所以到手也比较便宜，这个还能刻录DVD光碟，更方便很实用，相信京东，相信京东自营产品，很省心，很快捷，很实惠，很效率

我的外置刻录机坏了，买这个来更换，感觉还可以吧。毕竟才几十块钱。一直最喜欢京东网自营商品里面的唱片，图书，每次活动都会购买一批，可以剩下很多钱，京东网自营商品让人放心，服务一流，让人满意，没有后顾之忧，正品保证！

王丽萍研究生在读时，于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文，涉及两镜头微缩投影系统：《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》

王丽萍2007年发表论文在这篇论文中，给出了一套MET工具的光学设计图，其数值孔径NA0.3，分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm

一直选择在京东购物，特别是京东自营店，质量有保证，享受下单后，很短时间内就能体验上产品的感觉，快递小哥服务很好，非常感谢。包装盒看舒服。心理作用还是买个光驱，可能就用一两次，活动价99，便宜。小白装电脑，自我感觉良好，还在选配件，攒机中。担心配件攒齐后出问题过售后期了，就麻烦了。但为了省钱，没办法

实用主义，虽然弹出来那种感觉很山寨，但是好歹没什么问题，随便刻录了一张CD，效果很不错！

非常好，一开始没用起，找售后了解后用起了，效果非常棒，售后很热情，必须五星评起

自打U盘流行，硬盘容量大了之后，光驱就离我们越来越远了，刻录机也不例外，现在基本很少用到。因为喜爱无损音乐，而CD正是最好的载体，所以空着多年的光驱位又要启用了，当日下单次日即收到，趁孩子睡午觉立即刻了两张盘，刻录能支持最大速度，但我用的是最低速度来，一张CD刻好也只需十来分钟，刻好立即回放读碟，效果棒棒的，这光驱不管读还是读都叫我满意！

很棒的机器，收到后就连刻四张CD，全部成功，播放音质震撼，和原版没有区别。上午到货，自营的商品物流就是快。放了一张盘，声音很小，很安静，手里没有空白盘，未尝试刻录功能。

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源