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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国离7nm光刻机还有多远?,曝点料在光刻机行业

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  虽然迫于美国的压力荷兰无法向中国出售先进制程光刻机,但庞大的中国市场,让ASML无法拒绝其诱惑力,数据统计显示,在2022年第一季度,ASML共交付62台光刻机,其中21台DUV都成功销往中国

  【“求人”不如“求己”】  回顾中国的半导体行业,光刻机的技术发展历程可谓是曲曲折折,但这也无时无刻在警醒着中国,不能长期靠“外来力量”,究其根本还是要靠自己

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中国离7nm光刻机还有多远?,曝点料在光刻机行业

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  伴随着晶体管的研发成功,我国相关的科研进度也飞速加快,然而“天公不作美”,尽管我国努力在向着光刻机制造产业前进,但仍然困难重重

  而光刻机,也被该委员会列为尖端科技产品,对于中国实施禁运,此时的中国也正式遭遇第一次“高科技卡脖”

  后来的中国通过老一辈的科研工作者努力,正在一切向着前进的方向发展,然而本以为将会顺利发展、步入快车道的中国光科技产业,在1984年遭遇了“中断

  伴随着日后光刻机市场霸主ASML的诞生而打破,并且随着中国重视重心逐步趋向于其他行业,中国在80年代底,开始主张“造不如买”的政策

曝点料在光刻机行业

中国离7nm光刻机还有多远?

  1961年,美国GCA公司成功制造出第一台接触式光刻机,再加上新中国建立初期,美国、英国等17个国家就成立了国际巴黎统筹委员会,主要是为了限制成员国向发展中国家出口物资和高新技术,中国也在封禁的行列之中

注:图片来自仪器信息网  然而自主研发光刻机并非想象中那么简单

据数据显示,制造一台光刻机的精密零件需求为数万颗,而世界目前最先进的极紫外EVU光刻机则需要零件多达十多万

  如此多的数目以及极其精密的数据要求,就成为了光刻机最根本的需求基础,因此传统的制造基础便成为了光刻机技术突破的基础产业要求之一

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