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光刻机_雕刻机_曝光系统

国产光刻机的艰难往事国产euvl光刻机

但是这么多重点,主要应该抓哪些呢?最终四个国际上发展很快,而我国还处于空白领域,成为了最重要、最紧急的“四大紧急措施”,其中之一,便是半导体

1961 年,美国GCA 公司制造出第一台接触式光刻机

关于我国最早光刻机,有一种说法是1966年,中国科学院微电子研究所的前身——109厂与上海光学仪器厂协作,研制成功我国第一台65型接触式光刻机

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光刻机也逐渐成为热词,网上关于光刻机的讨论铺天盖地

70年代初,美日等国分别研制出接近式光刻机,而国内却一直停留在接触式光刻机

1977年,江苏吴县举行了全国性的光刻机座谈会,明确要改进光刻设备,尽快赶超世界先进水平

于是清华大学精密仪器系、中电科45所等先后投入研制更先进的光刻机

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3曙光时间来到1999年,北约入侵科索沃时,美国通过电子信息战瘫痪了南联盟几乎所有网络系统

为此有关部门多次紧急召开会议讨论:一旦和美国闹掰,国家信息安全将会面临怎样的威胁?随后,《鼓励软件产业集成电路产业发展的若干政策》出台,光刻机被列入“863重大科技攻关计划

而此时国内刚刚启动193nm光刻机项目,落后国际水平20多年

经过5年的艰苦追赶,终于在2007年,上海微电子宣布研制出90nm光刻机

但是由于元器件大部分来自国外西方立刻实行了禁运,导致无法量产

2008年,“02专项”启动,继续攻关,主攻高端光刻机技术,同时鉴于之前的教训,“02专项”的重点,还有提升材料工艺等产业配套能力

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