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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源第章离子蚀刻机和光刻机小说

还没安装,连电测试了一下没问题。这两天装起来试试。工作需要刻盘,先锋算是光驱里边老牌子了,希望可以好用一点,用久一点。总之不错,很满意。

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ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机,具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学博士生导师,在她的主页上,我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰

而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案

读盘速度:速度还是相当快的,大概2秒左右。 读盘声音:声音很小,主要是用来放音乐?的。 稳定性能:性能指标还可以,支持各种格式的光盘?兼容性比较好。 轻薄程度:大小刚刚好,能放在光驱位,要螺丝固定。 外形外观:外观很别致,很简洁。 产品包装:包装盒完好,还送了数据线。

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王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国阶段的技术基础和研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力

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曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作

以前一直用三星,先锋也是大品牌,据说造假很厉害,信赖京东自营,这次试试。光驱对我来说是必备硬件,仁者见仁智者见智,有人习惯了U盘,某些特殊情况下,还是光驱方便。读盘速度很快,噪音也不大,做工和三星一样精细,目前用着很稳定,产品包装也比较到位。背面还有好几处防伪的刻字。很不错的一款产品。

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2005年论文:美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里,我们可以清晰的看到MET工具CAD模型,它主要包括两个部分:1,从上部的同步辐射光源系统(From synchorotron)经过一个扫描单元传递至曝光装置;它相当于EUV光刻机的EUV光源系统;2,MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分:光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

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