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光刻机_雕刻机_曝光系统

光刻机德国公司,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

光刻机德国公司

先锋老牌子,读碟稳定,写碟快,噪音也很低,满意满意。很好用,噪音小,速度快,送货很快,最重要的是便宜。

读盘速度:读盘速度很快,并且很稳定。 读盘声音:声音有一些读盘机械转动的声音不是很大。 稳定性能:性能稳定可靠。大品牌的东西一直在用。 轻薄程度:台式机装机内置光驱的性价比最高的大品牌经典产品。是标准内置光驱的大小。 外形外观:金属外观,结构结实。 产品包装:产品包装牢固可靠完好。内置减震泡沫,防止磕碰。新款产品外包装印刷图案区别于老款。

当然,作为实验性工具,MET也是在不断发展的,第一代MET工具NA0.3的数值孔径,对应于ASML的第一代NA0.33 EUV光刻机;第二代MET工具具有NA0.5的数值孔径,对应于ASML的第二代NA0.55EUV光刻机

光刻机德国公司,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

快递超级给力,次日达。本次活动也可以呀。先锋的刻录机,多年的老牌子了,DVD刻录机还用着这个的。目前支持4K的光驱极其稀少了

这款蓝光刻录机价格硬了,我等了一年终于降价了,赶紧入手以前有个先锋的普通刻录机,用了十几年了还在用,刻录杠杠的,没一点问题,声音特别小,性能稳定,外观大气,读写速度都很快,质量绝对硬!!

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统目的研究里,王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢?在面对西方技术封锁下,我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗?下次见!两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文:https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学工学院ADT工具主页:https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

编者按:2021年12月30日,长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队,在深圳国资委资助下,合作成立了一家新企业:长光集智光科技有限公司

长春光机所研发团队持股20%,而第二大自然人股东--王丽萍教授,便是今天故事的主角

先锋刻录机,15年了 始终在用这个牌子 真心好用。还不错!14年的老电脑!就机箱和光驱没有换过啦!这次还换先锋的光驱!物美价廉

所以如果有人解读中国已经有每小时曝光10-20晶圆的EUV原型机,它大概率是把DUV当作了EUV

而第二代MET工具通常命名为MET-5,它经常出现在我的帖子

美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET-5极紫外曝光系统国内关于长春光机所的MET资料有限,我们不妨拿2005年的美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET工具的性能做一个参照

刻碟速度很快,CD碟5分钟内刻完,大品牌,质量有保障,物美价廉,值得信赖。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 长期使用中 值得信赖 好评五星

极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前,有必要回顾EUV光刻机发展历史,简而言之,在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里,有4个里程碑的阶段,包括:1,2003年之前的两镜头曝光装置(MET);2,2006年的六镜头EUV演示工具(ADT);3,2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机;4,明年即将推出的第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机

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