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上海光机所主办一个国内核心期刊《激光与光电子学进展》,其中基本涵盖我国激光、光学的主要进展和成果介绍
《激光与光电子学进展》在2022年5月10日出版了专题《光刻技术》,几乎涵盖了我国光刻研究的全面资料
这期的封面便是DUV光学曝光系统的示意图
《光刻技术》刊登的极紫外光源综述论文这篇论文也介绍了长春光机所的最新EUV反射镜及镀膜相关工作,最新的工作包括2020年的两篇论文
我此前介绍过长春光机所进口的德国EUV反射镜镀膜机,也是来自这一系列工作
我国进口光刻机水平
光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图:光刻工艺的演变因此,我整理了大量各种变量的时间演变曲线,并且标注其中的关键节点,对于重要的关键节点,做详细的人、物、力的调查,并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断
《极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势》论文中引用的长春光机所极紫外多层膜研究工作极紫外光刻胶研究进展极紫外光刻胶《极紫外(EUV)光刻胶的研发》一文的作者杨国强教授和李嫕教授,分别在中国科学院光化学重点实验室和中国科学院理化技术研究所带领团队开展极紫外光刻胶开发
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解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估
先锋dvd刻录机,多年的老品牌,刻录光盘,读写光盘速度快,稳定性好。可以满足日常读取或者刻录dvd光盘的需要,产品包装对刻录机的保护也很到位,避免了运送途中磕碰对刻录机的伤害,价格也很便宜,是一款高性价比的刻录机。
2022年5月《光刻技术》专刊封面《光刻技术》专刊这期专刊一共发表30篇特邀综述文章,涵盖了包括EUV光源、计算光刻、照明系统、投影物镜检测、光刻胶、浸液系统、准分子激光、光刻机运动控制台等光刻机研究的方方面面