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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源后道 光刻机

2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收,获得32纳米线宽曝光图形年后,2017年02专项验收时,我们可以看到,其验收的两镜头MET曝光工具,获得32纳米线宽曝光图形,与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源后道 光刻

非常完美的刻录机。现在公司买的小型主机几乎都没有像以前那这样自带光驱啦。所以必须买一个外带光驱用来读取和刻录光盘。机器黑色耐脏而且包装也很好。使用过了,没有任何问题。

一直都蛮喜欢先锋,在华硕和先锋两个品牌面前纠结了好久,最后还是选择了先锋,读书的时候就是只用先锋,现在还是选择先锋,质感非常不错哦,小日本的东西还是不错的!便携式给客户刻录碟片非常方便!给京东一个大大的好评!赞!

组了一台生产力,工作需要的原因,搞了一个光驱装上。读取速度刻录速度都不错,sata接口也很方便,京东的物流快到不行,前一天晚上下单,第二天上午就拿到手了!好评好评~现在有需要光驱的应该很少了,感觉不错

先锋蓝光刻录机非常好,物美价廉,很实用,物超所值,质量还是不错的,刻录很方便,三步就像U盘一样,直接拖拽就可以刻录了,不需要非常麻烦的操作,也不需要下载刻录软件,而且可试用的光盘范围比较宽广

王丽萍研究生在读时,于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文,涉及两镜头微缩投影系统:《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》

王丽萍2007年发表论文在这篇论文中,给出了一套MET工具的光学设计图,其数值孔径NA0.3,分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm

2005年论文:美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里,我们可以清晰的看到MET工具CAD模型,它主要包括两个部分:1,从上部的同步辐射光源系统(From synchorotron)经过一个扫描单元传递至曝光装置;它相当于EUV光刻机的EUV光源系统;2,MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分:光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

因此,从工业化角度而言,我国开发EUV,即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节,六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节

王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道:2004年毕业于长春理工大学后,于2004-2009年在中国科学院春光精密机械物理研究所攻读博士

因此,在大约十年时间里,长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力,使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发

而这也是篇首我们看到的王丽萍教授参与的六镜头投影系统设计和验证工作的基本背景

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读盘速度:速度很快,先锋还是很不错的 读盘声音:声音很轻柔 稳定性能:刚上机,目前来说还是很稳定的,不出意外应该会很稳定的 轻薄程度:很简洁,做工挺不错的 外形外观:京东的物流向来是很给力,外观很板正,毕竟是大品牌,还是不错的 产品包装:没有任何磕磕碰碰,盒子包装都没有划痕,很给力不错

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