1.2亿美金一台!EUV光刻机到底难在哪里?
而能达到要求的技师少之又少,连拥有175年历史的蔡司,达到光刻机镜头生产标准的技师也仅有20人
目前,由蔡司生产的最新一代EUV光刻机反射镜,能够做到最大直径1.2米,面形精度峰谷值0.12纳米,表面粗糙度20皮米
这是什么概念呢?如果把镜头放大到地球那么大,它上面只允许有一根头发丝那样的凸起,这可能是宇宙中最光滑的人造物体了
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开头如果说台积电能够卡住全球半导体脖子的话,那么荷兰阿斯麦的光刻机,就能卡住台积电的脖子
它家最新生产的EUV光刻机,能够生产7纳米及以下的芯片,世界上只此一家别无分号
既然完全垄断,那价格也是阿斯麦自己说了算1.2亿美元一台,爱买不买!而且产能有限,自2015年交付第一台EUV光刻机以来,截止2021年上半年,一共才交付了116台,其中台积电就拿走了一大半
刻录速度不错!不挑盘!很好!京东物流也超快!质量好,很好用,价廉物美,物流半天就送到家了。
有了镜头,当然还需要光源,光刻机里的光源技术是来自美国Cymer公司
想要产生波长为13.5nm的极紫外光,其实是一个比较复杂的过程
简单来说,就是用20kw的激光,不断轰击从空中滴落的液态锡珠
这些液滴的直径非常小,只有20微米,大概相当于头发丝直径的1/3,并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态
为了让激光束能以极大的功率稳定传输,系统的复杂性可想而知
事实上,EUV的激光系统就有大约45万个零件,重约17吨,线缆长度超过 7000 米
其中高达20kW的二氧化碳激光器,所需电源功率达到了200kW,但即使这样,它的最终效率也才只有5.5%
不错,很好,喜欢?,给力?,哈哈?果然是大牌子,质量很好,声音安静,读取刻录都很顺畅
国家02专项光刻机
别看转换效率不高,这已经是科学家们经过数次技术迭代,能够实现的最高水平了
要知道最初的发光效率仅有0.8%
以上还仅仅是光刻机的镜头跟光源部分,还有其他许许多多复杂的零部件,而提供它们的供应商各个都是细分领域的绝对王者
物流很快,买完第二天就到了,现在已经刻了快50张光盘,无一失败,就是不知道能用多久,希望能多用几年
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