为了完成光刻机的研发需要多个部门和机构协同合作,国内多个顶级研究院以及大学都参与到了光刻机的研发之中
国产光刻机除了上述已知的企业和研究所之外,还有更多的科研机构在默默地进行着光刻机技术的研发和突破,也正是在齐心协力之下,第一台可用于28nm芯片制造的国产光刻机也有望于近期亮相
国产光刻机突破在即
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其中EUV极紫外光源由中科院长春光机所负责技术攻关;光刻机双工件台系统由清华大学/华卓精科负责技术攻关;高NA浸没光学系统由长春国科精密光学负责技术攻关;EUV光刻胶由中国科学院化学研究所/中国科学院理化技术研究所联合攻关研发
因此众多国内芯片厂商也纷纷选择ASML提供的光刻机,这也使得ASML在仅仅4个月内就售出了23台光刻机,也让大陆市场一跃成为ASML目前的第一大市场
ASML光刻机但是从另一方面来说,目前ASML出售的全部都是低端光刻机,而高端的EUV光刻机目前为止一台都没有出售给我们
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激光和光刻机
国产芯片国产光刻机开始突破作为芯片制造产业中最重要的一环,光刻机的作用自然非常重要
伴随着芯片产业链上的其他设备如蚀刻机等已经突破至5nm,国产芯片产业也愈发完善,而光刻机也成为最后一个需要攻克的技术难关
光刻机技术取得突破其实国内对于光刻机同样十分重视,早在2006年就开始实施《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目,其中光刻机在16个重大专项任务中排名第二,因此也被称为“02专项”
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国内芯片厂商购入ASML光刻机两难的选择面对ASML降价销售光刻机的选择,目前国内芯片行业也陷入了两难的境地
作为芯片厂商来说,目前正是全面提高产能争抢芯片市场份额的良机