解读光刻机困局之2022(三):目前国内光刻研究的整体进度评估北京科华光刻机
光刻机困局调查中涉及的时间动态分析图：光刻工艺的演变因此，我整理了大量各种变量的时间演变曲线，并且标注其中的关键节点，对于重要的关键节点，做详细的人、物、力的调查，并以此来评估、矫正对技术发展趋势的判断
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《光刻技术》专刊目录在这些论文中，不仅详细介绍了国外光刻技术的发展历史，还详细包含了中国过去二十年的几乎所有重要的进展，我将以极紫外光源和极紫外光刻机的研究进展稍作诠释
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2，除了类似的综述论文所需资料外，会包含研究人员和研究团队的分析，研究人员的背景、研究团队的组成、稳定性，以及他们的技术能力，是分析、预测项目推进的重要组成信息；介绍俄罗斯的LPP EUV光源研究员康斯坦丁·N·科舍列夫3，在研究人的因素之上，进行详细的工业基础、技术背景调查，以此了解每一项组件所依赖的外部条件，如软硬件、材料、资源、资金等，以此判断实现每一个环节大概所需要的时间，并整体综合判断项目进度
读盘速度：读盘速度很快，加持USB3.0。 读盘声音：运行比较安静，比其他声音小点。光盘质量也有影响。 稳定性能：稳定性强，底部防滑。 轻薄程度：轻薄小巧。能放电脑包。 强制开机按钮很惊艳，强制开盖也不用到处找针了。手轻轻一拨就开了，方便极了。
因此，关于极紫外光刻机光源部分的国内研究，基本上已经覆盖在我去年撰写的《中国光刻机困局》系列之中
而我近期的撰文又补充了近一年的新的进展
我认为我的分析基本可以反映了目前国内研究的整体状况
因此这篇论文不仅涵盖了光刻胶开发历史，而且介绍了两位教授团队的最新成果和专利
简单翻阅这些2022年5月最新的中文资料，也可以验证前文论述中所涉及到的资料范围的准确性、及时性、全面性
例如，我在此前多次介绍美国极紫外光学制造商Zygo的技术背景
美国极紫外光学制造商Zygo介绍通常这些三要素的分析，是分散在我不同的帖子里
