2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收，获得32纳米线宽曝光图形十年后，2017年02专项验收时，我们可以看到，其验收的两镜头MET曝光工具，获得32纳米线宽曝光图形，与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的
而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队
因此，从工业化角度而言，我国开发EUV，即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节，六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道：2004年毕业于长春理工大学后，于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士
ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机，具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学曝光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学的博士生导师，在她的主页上，我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究
不愧是老牌子，质量杠杠滴，上一个也是买的先锋，用了快十年，还能继续用，这次再买个新的，速度不稳定，忽快忽慢的，但是快起来的时候真快
曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里，最核心的投影光学部分（MET projection optic）主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术，而这些也是长春光机所02专项的核心工作
回国之后就想着购置一台主流的台式机，平时偶尔玩玩游戏，同时需要能满足某些诸如Photoshop，Matlab等专业性的需求，无奈品牌机很少能两者兼顾，性价比也不是很高，于是萌发出自行组装的想法。趁着这次京东618活动，一次性买齐所有组件，全部是京东自营购入，主要也是看重正品及售后保障。主机的配置如下：Intel i7 8700 + 微星B360M迫击炮 + 微星GTX1650 + 威刚内存（8G*2 DDR4 3000）+ Intel 760P SSD 256G + Seagate HDD 1** + 先锋DVD光驱 + 先马机箱电源600W + 飞利浦显示屏。Intel i7 8700性能十分强劲，SSD能够使机器实现秒开，与之前笔记本的对比还是相当明显的；微星主板一如既往地可靠，迫击炮这款可谓是短小精悍，接口齐全，之所以选择GTX1650，也是兼顾成本与实际需求，虽说比不上国际3A大作特效全开，但是应付古剑三等还是绰绰有余；希捷硬盘值得信赖，2.5寸的已经入手好几块，十分便捷；先马的机箱内部空间相当大，走背线完全没问题，考虑到以后可能的升级，电源选择600W全模组，用到目前相当稳定；复古式机箱搭配Pioneer光驱，以前的光碟也完全可以应付。另外，尽管是618，各个自营店的物流速度相当快，这次的购机体验很好！很满意！
光驱选择先锋准没错，刻碟稳定，读碟迅速，质感很好，价格实惠，值得购买，家中必备。京东方便快捷，东西很好用，主要用来给孩子读英语，先锋老品牌，一直在用……
刚收到了就使用，非常好用，接上就能用，方便好用，质量保证。物流给力。宝贝性价比很高，质量做工很好，安装简单方便，接口兼容性比较好，推荐购买!
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
东西已经收到！手感不错！用料扎实！质量很好！平常用基本没有问题！先锋刻录机质量一直很稳定，买来试用刻录了几张光盘，没什么问题。
首先感谢京东这个平台，购物体验极致，物流配送服务完美，京东购买配件放心，之前的一直用的很好，没出现过问题，这是给公司组配办公电脑n台了，这次依旧选择京东，一次点亮，效率高，不卡机，直接公司转款，开具增值税发票，完美。