近日,光刻机巨头阿斯麦公司在2021年财报中宣称,中国企业东方晶源在中国内地销售的产品,涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权
阿斯麦公司表示,他们将密切关注中企的动态,如果有确凿证据显示其侵犯公司知识产权,将对其提起诉讼
资料显示,成立于2014年的东方晶源,主营业务为集成电路良品率管理,旗下产品包括纳米级电子束缺陷检测装备、关键尺寸量测装备、计算光刻产品以及微电子设计与制造智能良率优化设备等
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2019年,阿斯麦公司向美国提交诉讼,指控两名从Brion公司离职的员工带走了大量的技术,为XTAL公司的创立提供了基础
至于XTAL公司是如何与中国的东方晶源公司联系在一起的,阿斯麦公司在财报中并没有披露细节
也就是说,阿斯麦公司并没有充分的证据证明XTAL公司与东方晶源公司存在业务往来或者技术交换,所谓的东方晶源涉嫌侵犯阿斯麦公司的知识产权,只是阿斯麦公司的猜测
正是因为如此,目前没有一个国家可以独立完成光刻机的制造
以光刻机巨头荷兰阿斯麦公司制造的EUV极紫光刻机为例,其就继承了美国、日本和德国等多个国家的技术
目前光刻机几乎被阿斯麦公司一家垄断,高端光刻机领域,阿斯麦公司的市场占有率超过90%
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2014年,两人从阿斯麦美国子公司Brion辞职后创立XTAL,专注于计算光刻技术的发展
据悉,Brion公司是光刻计算概念的提出者,后来被阿斯麦全资收购
随后几年时间里,XTAL公司的计算光刻业务发展迅速,市场占有率不断提升,阿斯麦公司因此失去了许多重量级的客户
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众所周知,制造半导体离不开光刻机,而光刻机是人类文明智慧的结晶,有着“光学工业之花”以及“半导体工业皇冠之上的明珠”等诸多美称,上述美称集中反映了制造光刻机的技术难度
据悉,光刻机的制造涉及精密光学,超高分辨率仪器、自动化工业设计软件、高分子物理与化学等当今最为前沿的科学技术
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