王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国现阶段的技术基础和研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”
两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力
读盘速度:满意 轻薄程度:满意 外形外观:漂亮 读盘声音:很轻哦 稳定性能:优异 产品包装:简约不失大气
ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机,具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学曝光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学的博士生导师,在她的主页上,我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究
荷兰同意光刻机换口罩
而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点,我们有条件在3年内完成ADT验证机吗?回答这个问题,我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异:2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能,是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作;而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队
曝光系统被置于真空罩中
在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作
当然,由于这两个项目是2018年1月便启动的项目,先于美国的光刻机制裁,因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻机困局的境况并不匹配
我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的
由于该项目是2021年9月结束,我还没有查阅到相关的结题资料,所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始,以及近期公开发表的论文资料,去分析其所能达到的水平
装上去试了一下。运转声音很静,读碟很快,比以前那个好多了。好用,以前一直都是喜欢用先锋刻录机,非常好用,京东购买,还便宜,性价比高。
外观非常轻薄小巧,颜色是经典的磨砂黑色,手感观感都还不错。产品外包装中规中矩,上开式的打开方式很特别,还有很人性化的防锁死按钮,整体设计很到位。读盘声音安静,读写速度目前还没有特别感觉,使用后再来追评。
读盘速度:读取速度挺快 读盘声音:很安静 稳定性能:兼容性好,win10免驱 产品包装:完美 外形外观:大方
安装之后下了播放器,使用起来非常顺畅,读取蓝光碟迅速,很棒,先锋电器产品是老牌的品牌 质量可靠 性价比很高 ?评
大品牌的外置光驱,一直都用这个牌子。从前的内置光驱也是一样。主要是性能稳定,耐用。刻录光盘很少报废,速度很快。现在新电脑都很少配置光驱,买他就很方便。
读盘速度:读盘速度是非常的快,光盘放进去之后,机器反应非常灵敏。? 读盘声音:读盘的声音比较小,而且声音很稳定。? 稳定性能:性能很稳定,读盘的时候声音很稳定。 轻薄程度:这不是轻薄的光驱,这种光驱现在很难买了。幸好先锋还在生产。这一种平置式要比那种超薄的效果要好。? 外形外观:做工非常好,一看就是大厂的东西。? 产品包装:包装非常好,一看就是大厂的东西。让人放心。
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
先锋老牌子,读碟稳定,写碟快,噪音也很低,满意满意。很好用,噪音小,速度快,送货很快,最重要的是便宜。