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光刻机_雕刻机_曝光系统

光刻机生产芯片,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

外包装很精美,比联想db75好多了。先前用db75太久了,光头有点灰尘,抓出来的音频有问题,换了之后就好多了。目前没问题,各方面都很好。eac上可以直接查到偏移值,好用!

2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰

而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案

镜头光学到六镜头光学系统差距如前文所述,德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后,3年内推出了六镜头的ADT验证机

所以,蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限,而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上,几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限

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还行,挺不错的,之前公司的让我弄坏了,自己买了一个赔给公司。测试了所有功能,一切正常。还有京东快递小哥一如既往很快,态度也很好,好评!

当然,由于这两个项目是2018年1月便启动的项目,先于美国的光刻机制裁,因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻困局的境况并不匹配

我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的

由于该项目是2021年9月结束,我还没有查阅到相关的结题资料,所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始,以及近期公开发表的论文资料,去分析其所能达到的水平

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国阶段的技术基础和研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具的性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力

光刻机生产芯片,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

2017年长春光机所的2镜头MET曝光工具验收,获得32纳米线宽曝光图形年后,2017年02专项验收时,我们可以看到,其验收的两镜头MET曝光工具,获得32纳米线宽曝光图形,与2007年王丽萍教授的论文设计几乎是一致的

好久不用光驱了,特殊用途还是有必要的。而且这个性价比比较高 产品包装:这个包装很大气啊,盒子也很大,里面是再生原料减震,看着不错。 外形外观:外观简洁大方,成熟稳重 轻薄程度:正常尺寸的三围 读盘速度:速度平稳,读盘不错 读盘声音:声音还好 稳定性能:目前稳定

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

先锋老牌子,读碟稳定,写碟快,噪音也很低,满意满意。很好用,噪音小,速度快,送货很快,最重要的是便宜。

光刻机生产芯片

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